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煅烧石墨加工的操作规程

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  【硕远新材,卓力打造最新最优质石墨资讯】


  一、工作分配


  提供高纯度的石墨卡瓣和石墨基座,为生产优质太阳能级多晶硅奠定基础。


  二、职位的职责


  1、煅烧石墨零件的制备


  2、石墨零件的清洗


  3、石墨零件的干燥


  4、石墨零件的煅烧


  三、流程原理


  石墨加工中挥发性物质通过高温煅烧除去,以防止杂质污染多晶硅在还原和拉伸硅芯。


  四、工艺指标


  1、真空泵低真空至30格栅(1x10-3齿轮)


  2、扩散泵高真空到90格栅(1x10-3齿轮)


  3、焙烧炉高压启动后20分钟升压,每次0.5V。


  4、煅烧炉温度至1550℃


  石墨加工


  五、停车及紧急停车程序及操作方法


  1、沸腾冷却水阀


  2、打开真空泵


  3、闭式扩散泵制动刀、预热扩散泵


  4、当低真空达到30格栅(1x10-3齿轮)时,打开真空阀,关闭低真空阀。


  5、打开高真空阀,高到90格栅(1x10-3齿轮)


  6、打开高压开关,20分钟后升高电压。当真空度等于80-90格时,压力增加到8(x5),炉温为1550℃,恒温2-3小时。


  7、停止:缓慢冷却,通常10分钟,停止高压电源,停止扩散泵,关闭真空阀,停止炉子,关闭冷却水阀。


  8、拆炉:拆炉后,戴好口罩和高纯手套,将石墨件拆下,用干净的塑料袋密封。


  9、紧急停车:先停真空泵,然后停电,最后停水。


  六、石墨加工常见事故的分析与处理


  (1)停水:立即关闭真空泵阀门,然后关闭电源。


  (2)停电:关闭真空泵阀门,等待石墨炉和扩散泵温度降至室温,然后关闭电源,最后关闭循环水阀门。


  (3)不能抽真空:停炉检查密封件的密封情况。


  石墨加工


  七连锁、报警


  水压、温度、真空、电压和电流


  八、设备清单


  循环水系统、真空系统、扩散泵、石墨煅烧炉


  九、石墨加工工艺流程


  石墨清洗→装炉→抽真空→开炉→升温→恒温→降温


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